文献
J-GLOBAL ID:201302259274585496
整理番号:13A0937349
結晶シリコン中のホウ素酸素関係欠陥の再生に対する水素の影響
Influence of hydrogen on the regeneration of boron-oxygen related defects in crystalline silicon
著者 (3件):
WILKING S.
(Dep. of Physics, Univ. of Konstanz, 78457 Konstanz, DEU)
,
HERGUTH A.
(Dep. of Physics, Univ. of Konstanz, 78457 Konstanz, DEU)
,
HAHN G.
(Dep. of Physics, Univ. of Konstanz, 78457 Konstanz, DEU)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
113
号:
19
ページ:
194503-194503-6
発行年:
2013年05月21日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)