文献
J-GLOBAL ID:201302259514368099
整理番号:13A1311104
MEMSエネルギーハーベスティングデバイスに及ぼす窒化アルミニウム結晶方向の影響
Influence of aluminum nitride crystal orientation on MEMS energy harvesting device performance
著者 (5件):
JACKSON Nathan
(Univ. Coll. Cork, Cork, IRL)
,
O’KEEFFE Rosemary
(Univ. Coll. Cork, Cork, IRL)
,
WALDRON Finbarr
(Univ. Coll. Cork, Cork, IRL)
,
O’NEILL Mike
(Analog Devices Inc., Limerick, IRL)
,
MATHEWSON Alan
(Univ. Coll. Cork, Cork, IRL)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
23
号:
7
ページ:
075014,1-9
発行年:
2013年07月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)