文献
J-GLOBAL ID:201302259758290920
整理番号:13A1458410
MEMS応用に対する微細NiFe合金アレイの微細構造と磁気特性
Microstructure and magnetic properties of micro NiFe alloy arrays for MEMS application
著者 (4件):
LI Zhongliang
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
SUN Xuming
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
ZHENG Yang
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
ZHANG Haixia
(Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
23
号:
8
ページ:
085013,1-8
発行年:
2013年08月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)