文献
J-GLOBAL ID:201302259822971790
整理番号:13A1165631
ステップアンドリピート紫外ナノインプリンティングの離型特性の研究
Study of Demolding Characteristics in Step-and-Repeat Ultraviolet Nanoimprinting
著者 (18件):
IYOSHI Shuso
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
IYOSHI Shuso
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
OKADA Makoto
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
OKADA Makoto
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
KATASE Tetsuya
(Meisyo Kiko Co., Ltd., Hyogo, JPN)
,
TONE Katsuhiko
(Meisyo Kiko Co., Ltd., Hyogo, JPN)
,
KOBAYASHI Kei
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KOBAYASHI Kei
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
KANEKO Shu
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KANEKO Shu
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
HARUYAMA Yuichi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
HARUYAMA Yuichi
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
NAKAGAWA Masaru
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
NAKAGAWA Masaru
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
HIROSHIMA Hiroshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
HIROSHIMA Hiroshi
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
MATSUI Shinji
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
MATSUI Shinji
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
52
号:
6,Issue 2
ページ:
06GJ04.1-06GJ04.9
発行年:
2013年06月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)