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文献
J-GLOBAL ID：201302260351202773
整理番号：13A0794827
ALN/FEGAB 2層ナノプレート共振器に基づくMEMS共振磁場センサ
MEMS RESONANT MAGNETIC FIELD SENSOR BASED ON AN ALN/FEGAB BILAYER NANO-PLATE RESONATOR
HUI Y.
(Northeastern Univ., Massachusetts, USA)
,
NAN T. X.
(Northeastern Univ., Massachusetts, USA)
,
SUN N. X.
(Northeastern Univ., Massachusetts, USA)
,
RINALDI M.
(Northeastern Univ., Massachusetts, USA)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.2 ページ： 721-724 発行年： 2013年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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