文献
J-GLOBAL ID:201302261069900685
整理番号:13A0683063
アモルファスシリコンを犠牲材料として用いた2つの金属電極をもつSU-8 MEMSプロセスの開発
Development of an SU-8 MEMS process with two metal electrodes using amorphous silicon as a sacrificial material
著者 (3件):
RAMADAN Khaled S
(Univ. Alberta, AB, CAN)
,
NASR Tarek
(King Abdullah Univ. Sci. and Technol. (KAUST), Thuwal, SAU)
,
FOULDS Ian G
(King Abdullah Univ. Sci. and Technol. (KAUST), Thuwal, SAU)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
23
号:
3
ページ:
035037,1-13
発行年:
2013年03月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)