文献
J-GLOBAL ID:201302261537973725
整理番号:13A1562431
MEMS部品の動的特性の試験法に関して
On the Test Method of Dynamic Characteristics of MEMS Components
著者 (3件):
HE Guang
(Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN)
,
WANG Yajun
(Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN)
,
MA Wenrui
(Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
562/565 Pt.1
ページ:
119-124
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)