文献
J-GLOBAL ID:201302261680674453
整理番号:13A1703929
多ビーム照射に基づく単ショットタイコグラフィー逐次近似エンジン
Single shot ptychographical iterative engine based on multi-beam illumination
著者 (3件):
PAN Xingchen
(Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN)
,
LIU Cheng
(Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN)
,
ZHU Jianqiang
(Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
103
号:
17
ページ:
171105-171105-4
発行年:
2013年10月21日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)