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文献
J-GLOBAL ID:201302261680674453   整理番号:13A1703929

多ビーム照射に基づく単ショットタイコグラフィー逐次近似エンジン

Single shot ptychographical iterative engine based on multi-beam illumination
著者 (3件):
PAN Xingchen
(Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN)
LIU Cheng
(Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN)
ZHU Jianqiang
(Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 103  号: 17  ページ: 171105-171105-4  発行年: 2013年10月21日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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