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文献
J-GLOBAL ID：201302262082349781
整理番号：13A0400459
いろいろな温度で焼鈍したa-Si:H/a-SiNx多層体のミクロ構造と光ルミネッセンス
Microstructures and Photoluminescence of a-Si:H/a-SiNx Multilayers Annealed at Different Temperature
SONG Chao
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
GUO Yan Qing
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
WANG Xiang
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
SONG Jie
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
HUANG Rui
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 531/532 ページ： 465-468 発行年： 2013年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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