文献
J-GLOBAL ID:201302262942227670
整理番号:13A1773488
HVPEによる深紫外透明な高品質AlNの成長
Growth of high quality AlN with deep-UV transparency by HVPE
著者 (12件):
NUKAGA T.
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
SAKAMAKI R.
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
KUBOTA Y.
(Tokuyama Corp., Ibaraki, JPN)
,
NAGASHIMA T.
(Tokuyama Corp., Ibaraki, JPN)
,
KINOSHITA T.
(Tokuyama Corp., Ibaraki, JPN)
,
MOODY B.
(HexaTech, Inc., NC, USA)
,
XIE J.
(HexaTech, Inc., NC, USA)
,
MURAKAMI H.
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
KUMAGAI Y.
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
KOUKITU A.
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
SITAR Z.
(HexaTech, Inc., NC, USA)
,
SITAR Z.
(North Carolina State Univ., NC, USA)
資料名:
Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM)
(Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM))
ページ:
ROMBUNNO.18A-M6-8
発行年:
2013年
JST資料番号:
M20130006
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)