文献
J-GLOBAL ID:201302262977619148
整理番号:13A0794703
統合圧電抵抗トランスデューサを有するケイ素ナノワイヤと片持ち梁の電気機械スイッチ
SILICON NANOWIRE AND CANTILEVER ELECTROMECHANICAL SWITCHES WITH INTEGRATED PIEZORESISTIVE TRANSDUCERS
著者 (6件):
YANG Rui
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
,
HE Tina
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
,
MARCOUX Carine
(CEA-Leti, Grenoble, FRA)
,
ANDREUCCI Philippe
(CEA-Leti, Grenoble, FRA)
,
DURAFFOURG Laurent
(CEA-Leti, Grenoble, FRA)
,
FENG Philip X.-L.
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
26th Vol.1
ページ:
229-232
発行年:
2013年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)