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文献
J-GLOBAL ID：201302262992083092
整理番号：13A1773553
引上げ速度減速による珪素融液成長時の格子間結晶内部及び成長界面上の空格子点の創生
Creations of vacancy on growth interface and of interstitial inside crystal during silicon melt growth by decreasing pulling rate
ABE Takao
(Shin-Etsu Handotai, Gunma, JPN)
,
TAKAHASHI Toru
(Shin-Etsu Handotai, Gunma, JPN)
,
SHIRAI Koun
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM)
(Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM))
ページ： ROMBUNNO.18P-M4-13 発行年： 2013年
JST資料番号： M20130006 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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