文献
J-GLOBAL ID:201302263601775749
整理番号:13A1793609
薄膜形状記憶合金のハイスループット評価法
High-Throughput Characterization of Thin Film Shape Memory Alloys
著者 (4件):
青野祐子
(東京工業大学大学院 理工学研究科 機械物理工学専攻)
,
川口龍太郎
(東京工業大学 大学院 総合理工学研究科 メカノマイクロ工学専攻)
,
桜井淳平
(東京エレクトロン(株))
,
秦誠一
(名古屋大学大学院 工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻)
資料名:
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻:
133
号:
8
ページ:
348-353 (J-STAGE)
発行年:
2013年
JST資料番号:
L3098A
ISSN:
1341-8939
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)