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文献
J-GLOBAL ID：201302263801079054
整理番号：13A0822873
グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発(第1報)-マルチ産学連携共同研究プロジェクト設立の概要-
土肥俊郎
(九大 産学連携セ)
,
山崎努
(九大 産学連携セ)
,
瀬下清
(九大 産学連携セ)
,
市川大造
(九大 産学連携セ)
,
市川大造
(不二越機械工業)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013 号： 春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.J23 発行年： 2013年02月27日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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