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文献
J-GLOBAL ID：201302264273545656
整理番号：13A0656177
CMOS-MEMS共振器の共振周波数に対する温度効果のシミュレーションとモデリング
Simulation and Modeling the Effect of Temperature on Resonant Frequency of a CMOS-MEMS Resonator
AHMED A. Y.
(Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS)
,
DENNIS J. O.
(Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS)
,
KHIR M. H. Md
(Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS)
,
SAAD M. N. Mohamad
(Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS)
資料名：
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻： 1482 ページ： 32-36 発行年： 2012年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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