文献
J-GLOBAL ID:201302264293900975
整理番号:13A0148559
Si(111)上でのケイ化ハフニウムの形態及び成長
Morphology and growth of hafnium silicide on Si(111)
著者 (3件):
BEIMBORN A.
(Experimentelle Physik I, Technische Universitaet Dortmund, Otto-Hahn-Str. 4, 44221 Dortmund, DEU)
,
HENSCHEL E.
(Experimentelle Physik I, Technische Universitaet Dortmund, Otto-Hahn-Str. 4, 44221 Dortmund, DEU)
,
WESTPHAL C.
(Experimentelle Physik I, Technische Universitaet Dortmund, Otto-Hahn-Str. 4, 44221 Dortmund, DEU)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
265
ページ:
1-3
発行年:
2013年01月15日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)