文献
J-GLOBAL ID:201302264536016386
整理番号:13A1564589
酸化物半導体TFT最前線 酸化物半導体TFT:装置から見たディスプレイバックプレーン技術の革命
著者 (1件):
SCHEER Evelyn
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
資料名:
月刊ディスプレイ
(プロセスエンジニアのための月刊ディスプレイ)
巻:
19
号:
10
ページ:
54-61
発行年:
2013年10月01日
JST資料番号:
L4454A
ISSN:
1341-3961
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)