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文献
J-GLOBAL ID：201302265110157051
整理番号：13A1678939
高温超伝導バルクによる磁気浮上を適用したフォトマスク用スピン処理装置の研究開発-ターンテーブル振動特性とその抑制法の検討-
Research and Development of Non-contact Spin Processor for Photo Mask Production Applying Magnetic Levitation Using HTS Bulks-Investigation of Vibration Characteristics of Turntable and Its Suppression Method-
齋藤公世
(新潟大)
,
福井聡
(新潟大)
,
岡徹雄
(新潟大)
,
小川純
(新潟大)
,
佐藤孝雄
(新潟大)
資料名：
電気学会超電導応用電力機器研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： ASC-13 号： 22-42 ページ： 27-32 発行年： 2013年09月24日
JST資料番号： L1912A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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