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文献
J-GLOBAL ID：201302265520999440
整理番号：13A0400408
熱処理Nリッチa-SiNx:H薄膜の欠陥フォトルミネセンスの発生
Evolution of defect photoluminescence in annealed N-rich a-SiNx:H films
RUI Huang
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
JIE Song
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
GUO Yanqing
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
SONG Chao
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
WANG Xiang
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 531/532 ページ： 234-237 発行年： 2013年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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