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文献
J-GLOBAL ID：201302265744118067
整理番号：13A1177666
ウエハビンマップ欠陥診断のためのインテリジェントシステム:半導体製造のための実証的研究
An intelligent system for wafer bin map defect diagnosis: An empirical study for semiconductor manufacturing
LIU Chiao-Wen
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHIEN Chen-Fu
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名：
Engineering Applications of Artificial Intelligence
(Engineering Applications of Artificial Intelligence)
巻： 26 号： 5-6 ページ： 1479-1486 発行年： 2013年05月
JST資料番号： T0797A ISSN： 0952-1976 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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