文献
J-GLOBAL ID:201302265744118067
整理番号:13A1177666
ウエハビンマップ欠陥診断のためのインテリジェントシステム:半導体製造のための実証的研究
An intelligent system for wafer bin map defect diagnosis: An empirical study for semiconductor manufacturing
著者 (2件):
LIU Chiao-Wen
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHIEN Chen-Fu
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
Engineering Applications of Artificial Intelligence
(Engineering Applications of Artificial Intelligence)
巻:
26
号:
5-6
ページ:
1479-1486
発行年:
2013年05月
JST資料番号:
T0797A
ISSN:
0952-1976
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)