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文献
J-GLOBAL ID：201302266110174122
整理番号：13A1300080
エピタキシャル薄膜PZTベース質量センサの膜厚および組成依存性
Film-thickness and composition dependence of epitaxial thin-film PZT-based mass-sensors
NGUYEN Minh Duc
(International Training Inst. for Materials Sci. (ITIMS), Hanoi Univ. of Sci. and Technol., No. 1 Dai Co Viet Road ...)
,
NGUYEN Minh Duc
(Inorganic Materials Sci. (IMS), MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500AE Enschede, NLD)
,
NGUYEN Minh Duc
(SolMateS B.V., Drienerlolaan 5, Building 6, 7522NB Enschede, NLD)
,
DEKKERS Matthijn
(Inorganic Materials Sci. (IMS), MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500AE Enschede, NLD)
,
DEKKERS Matthijn
(SolMateS B.V., Drienerlolaan 5, Building 6, 7522NB Enschede, NLD)
,
VU Hung Ngoc
(International Training Inst. for Materials Sci. (ITIMS), Hanoi Univ. of Sci. and Technol., No. 1 Dai Co Viet Road ...)
,
RIJNDERS Guus
(Inorganic Materials Sci. (IMS), MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500AE Enschede, NLD)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 199 ページ： 98-105 発行年： 2013年09月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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