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J-GLOBAL ID：201302266433493740 整理番号：13A1749144

QCM法により開発したArFレジストにおける膨潤挙動の研究(3) 膨潤層弾性率の観測

Study of swelling behavior in ArF resist during development by the QCM method (3) -Observations of swelling layer elastic modulus-

著者 (1件)：

SEKIGUCHI Atsushi

(Litho Tech Japan Co., Ltd., Saitama, JPN)

資料名：

Proceedings of SPIE (Proceedings of SPIE)

巻： 8682 ページ： 86821L.1-86821L.12 発行年： 2013年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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