文献
J-GLOBAL ID:201302266636592050
整理番号:13A1553541
原子層堆積によるTiO2薄膜トランジスタ
TiO2 Thin Film Transistor by Atomic Layer Deposition
著者 (4件):
OKYAY Ali K.
(Bilkent Univ., Ankara, TUR)
,
ORUC Feyza B.
(Bilkent Univ., Ankara, TUR)
,
CIMEN Furkan
(Bilkent Univ., Ankara, TUR)
,
AYGUEN Levent E.
(Bilkent Univ., Ankara, TUR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8626
ページ:
862616.1-862616.7
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)