文献
J-GLOBAL ID:201302267011902341
整理番号:13A1758388
液浸スキャナの露光毎補正による先端的オーバレイ安定性制御
Advanced overlay stability control with correction per exposure on immersion scanners
著者 (4件):
HAN Jinkyu
(Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-Do, KOR)
,
HEO Jinseok
(Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-Do, KOR)
,
HWANG Chan
(Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-Do, KOR)
,
YEO Jeongho
(Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-Do, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8681
号:
Pt.1
ページ:
86811D.1-86811D.6
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)