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文献
J-GLOBAL ID：201302267562753380
整理番号：13A0028676
均質バルクPZTの横方向インターデジタル電極駆動
Transverse Interdigitated Electrode Actuation of Homogeneous Bulk PZT
HAREESH Prakruthi
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
MISRI Isaac
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
YANG Shuang
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
YANG Shuang
(Johns Hopkins Univ., MD, USA)
,
DEVOE Don L.
(Univ. Maryland, MD, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21 号： 6 ページ： 1513-1518 発行年： 2012年12月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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