文献
J-GLOBAL ID:201302268732753114
整理番号:13A0366198
非常に薄いGaN薄膜を使用したデバイスの残留応力分布と撓み解析
Residual stress distribution and deflection analysis of very thin GaN membrane supported devices
著者 (9件):
CISMARU A
(IMT-Bucharest, Bucharest, ROM)
,
MUELLER A
(IMT-Bucharest, Bucharest, ROM)
,
KONSTANTINIDIS G
(FORTH-IESL-MRG, Crete, GRC)
,
COMANESCU F
(IMT-Bucharest, Bucharest, ROM)
,
PURICA M
(IMT-Bucharest, Bucharest, ROM)
,
STEFANESCU A
(IMT-Bucharest, Bucharest, ROM)
,
STAVRINIDIS A
(FORTH-IESL-MRG, Crete, GRC)
,
DINESCU A
(IMT-Bucharest, Bucharest, ROM)
,
MOLDOVEANU A
(Politehnica Univ. Bucharest, Bucharest, ROM)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
23
号:
1
ページ:
015010,1-7
発行年:
2013年01月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)