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文献
J-GLOBAL ID：201302268796578189
整理番号：13A0251770
AFM応用のための自己先鋭化ナノシリコン先端をもつ片持梁の作製
Fabrication of cantilever with self-sharpening nano-silicon-tip for AFM applications
LI Jia-Dong
(Chinese Acad. of Sciences, International Lab. for Adaptive Bio-nanotechology, Suzhou Inst. of Nano-tech and ...)
,
XIE Jie
(Chinese Acad. of Sciences, International Lab. for Adaptive Bio-nanotechology, Suzhou Inst. of Nano-tech and ...)
,
XUE Wei
(Chinese Acad. of Sciences, International Lab. for Adaptive Bio-nanotechology, Suzhou Inst. of Nano-tech and ...)
,
WU Dong-Min
(Chinese Acad. of Sciences, International Lab. for Adaptive Bio-nanotechology, Suzhou Inst. of Nano-tech and ...)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 19 号： 2 ページ： 285-290 発行年： 2013年02月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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