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文献
J-GLOBAL ID：201302269125804300
整理番号：13A0828789
太陽電池への応用を目指して高密度プラズマ化学蒸着によって作製した真性水素化非晶質シリコン薄膜の光学特性に及ぼす水素希釈の影響
Impact of hydrogen dilution on optical properties of intrinsic hydrogenated amorphous silicon films prepared by high density plasma chemical vapor deposition for solar cell applications
CHEN Huai-Yi
(Huafan Univ., Taiwan)
,
LEE Yao-Jen
(National Nano Device Lab., Taiwan)
,
CHANG Chien-Pin
(Huafan Univ., Taiwan)
,
KOO Horng-Show
(Minghsin Univ. Sci. and Technol., Taiwan)
,
LAI Chiung-Hui
(Chung Hua Univ., Taiwan)
資料名：
Journal of Modern Optics
(Journal of Modern Optics)
巻： 60 号： 2/3 ページ： 145-151 発行年： 2013年01月20日
JST資料番号： D0250A ISSN： 0950-0340 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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