文献
J-GLOBAL ID:201302269194084734
整理番号:13A0311975
非平衡大気圧N2/O2プラズマを使って蒸着したZnO膜の配向制御
Orientation Control of ZnO Films Deposited Using Nonequilibrium Atmospheric Pressure N2/O2 Plasma
著者 (6件):
NOSE Yukinori
(Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN)
,
NAKAMURA Tatsuru
(Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN)
,
YOSHIMURA Takeshi
(Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN)
,
ASHIDA Atsushi
(Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN)
,
UEHARA Tsuyoshi
(Sekisui Chemical Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
FUJIMURA Norifumi
(Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
52
号:
1,Issue 2
ページ:
01AC03.1-01AC03.3
発行年:
2013年01月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)