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文献
J-GLOBAL ID：201302269583663677
整理番号：13A1796987
超薄RFマグネトロンスパッタAl2O3ゲートによる窒化ガリウムの表面パシベーション
Surface Passivation of Gallium Nitride by Ultrathin RF-Magnetron Sputtered Al2O3 Gate
QUAH Hock Jin
(Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
,
CHEONG Kuan Yew
(Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
資料名：
ACS Applied Materials & Interfaces
(ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 5 号： 15 ページ： 6860-6863 発行年： 2013年08月14日
JST資料番号： W2329A ISSN： 1944-8244 CODEN： AAMICK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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