文献
J-GLOBAL ID:201302269630279627
整理番号:13A1200178
製造に挿入するためのEUVリソグラフィーの準備:IMEC EUVプログラム
Readiness of EUV Lithography for Insertion into Manufacturing: The IMEC EUV Program
著者 (10件):
HENDRICKX Eric
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
GRONHEID Roel
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
HERMANS Jan
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
LORUSSO Gian
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
FOUBERT Philippe
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
POLLENTIER Ivan
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
GOETHALS Anne-Marie
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
JONCKHEERE Rik
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
VANDENBERGHE Geert
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
,
RONSE Kurt
(IMEC vzw, Kapeldreef, BEL)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
26
号:
5
ページ:
587-593
発行年:
2013年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)