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文献
J-GLOBAL ID：201302269691759206
整理番号：13A1484981
真空薄膜蒸着システムのための酸-アルカリ洗浄剤の代替としてのイオン-プラズマ洗浄モジュール
Ion-Plasma Cleaning Module for Vacuum Thin-film Deposition Systems as Alternative to Acid-alkaline Cleaners
SHEVCHENKO E.F.
(North Caucasus Federal Univ., RUS)
,
SHEVCHENKO M.Yu.
(North Caucasus Federal Univ., RUS)
資料名：
International Journal of Plasma Environmental Science & Technology
(International Journal of Plasma Environmental Science & Technology)
巻： 7 号： 2 ページ： 157-162 発行年： 2013年07月
JST資料番号： L6832A ISSN： 1881-8692 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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