文献
J-GLOBAL ID:201302270053586416
整理番号:13A1311144
異なるAl2O3成分を持つInP上の原子層蒸着(HfO2)1-x(Al2O3)xナノラミネート膜
Atomic-layer-deposited (HfO2)1-x(Al2O3)x nanolaminate films on InP with different Al2O3 contents
著者 (4件):
AN Chee-Hong
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
MAHATA Chandreswar
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
BYUN Young-Chul
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
KIM Hyoungsub
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
46
号:
27
ページ:
275301,1-6
発行年:
2013年07月10日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)