文献
J-GLOBAL ID:201302270329043594
整理番号:13A0814704
清浄化媒体の物理的及びガス的性質を最適化することによるメガ音波性能の制御
Controlling MegaSonic Performance by Optimizing Cleaning Media’s Physical and Gaseous Properties
著者 (5件):
SHENDE Hrishi
(MP Mask Technol. Center, LLC, ID, USA)
,
SINGH Sherjang
(SUSS MicroTec Inc., CA, USA)
,
BAUGH James
(MP Mask Technol. Center, LLC, ID, USA)
,
DIETZE Uwe
(SUSS MicroTec Inc., CA, USA)
,
DRESS Peter
(SUESS MicroTec Photomask Equipment GmbH & Co. KG, Sternenfels, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8522
ページ:
852217.1-852217.7
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)