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文献
J-GLOBAL ID：201302270436291959
整理番号：13A0528252
MEMS封止応用に対するナノ多孔性金
Nanoporous Gold for MEMS Packing Applications
LIN Yu-ching
(WPI-AIMR, Tohoku Univ.)
,
WANG Wei-shan
(Micro System Integration Center, Tohoku Univ.)
,
CHEN Lu Yang
(WPI-AIMR, Tohoku Univ.)
,
CHEN Ming Wei
(WPI-AIMR, Tohoku Univ.)
,
GESSNER Thomas
(Fraunhofer ENAS and Chemnitz Univ. of Technol.)
,
ESASHI Masayoshi
(WPI-AIMR, Tohoku Univ.)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 133 号： 2 ページ： 31-36 (J-STAGE) 発行年： 2013年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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