文献
J-GLOBAL ID:201302271134373260
整理番号:13A1749076
CD-SEMを用いたダイ内オーバレイ計測
In-die Overlay Metrology by using CD-SEM
著者 (4件):
INOUE Osamu
(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)
,
KATO Takeshi
(Hitachi High-Technol. Corp., Tokyo, JPN)
,
OKAGAWA Yutaka
(Hitachi High-Technol. Corp., Tokyo, JPN)
,
KAWADA Hiroki
(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8681
号:
Pt.2
ページ:
86812S.1-86812S.9
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)