文献
J-GLOBAL ID:201302271680472465
整理番号:13A1186208
圧電アクチュエータによるXYマイクロ位置決めステージの非線形モデル化と非干渉制御
Nonlinear Modeling and Decoupling Control of XY Micropositioning Stages With Piezoelectric Actuators
著者 (4件):
XIE Yangqiu
(Shanghai Normal Univ., Shanghai, CHN)
,
XIE Yangqiu
(Xidian Univ., Xi’an, CHN)
,
TAN Yonghong
(Shanghai Normal Univ., Shanghai, CHN)
,
DONG Ruili
(Shanghai Normal Univ., Shanghai, CHN)
資料名:
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics
(IEEE/ASME Transactions on Mechatronics)
巻:
18
号:
3
ページ:
821-832
発行年:
2013年06月
JST資料番号:
W0894A
ISSN:
1083-4435
CODEN:
IATEFW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)