文献
J-GLOBAL ID:201302272033981796
整理番号:13A1360421
角度人工板に基づく高精度な回転計測台用の軸上自己キャリブレーション法
An on-axis self-calibration approach for precision rotary metrology stages based on an angular artifact plate
著者 (6件):
HU Chuxiong
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
HU Chuxiong
(Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN)
,
ZHU Yu
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
HU Jinchun
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
XU Dengfeng
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
ZHANG Ming
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
24
号:
8
ページ:
085007,1-10
発行年:
2013年08月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)