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文献
J-GLOBAL ID：201302272033981796
整理番号：13A1360421
角度人工板に基づく高精度な回転計測台用の軸上自己キャリブレーション法
An on-axis self-calibration approach for precision rotary metrology stages based on an angular artifact plate
HU Chuxiong
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
HU Chuxiong
(Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN)
,
ZHU Yu
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
HU Jinchun
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
XU Dengfeng
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
ZHANG Ming
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 24 号： 8 ページ： 085007,1-10 発行年： 2013年08月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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