文献
J-GLOBAL ID:201302272446358990
整理番号:13A0794838
MEMS共振器に対する一定構造抵抗制御による温度安定性の向上
ENHANCEMENT OF TEMPERATURE STABILITY VIA CONSTANT-STRUCTURAL-RESISTANCE CONTROL FOR MEMS RESONATORS
著者 (4件):
CHEN Cheng-Chi
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
YU Huan-Tse
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LI Guan-Hsien
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LI Sheng-Shian
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
26th Vol.2
ページ:
765-768
発行年:
2013年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)