文献
J-GLOBAL ID:201302274587971256
整理番号:13A0539605
超連続光を採用した光ファイバー型低コヒーレンス干渉計を用いたSi基板の温度測定
Temperature Measurement of Si Substrate Using Optical-Fiber-Type Low-Coherence Interferometry Employing Supercontinuum Light
著者 (6件):
HIRAOKA Takehiro
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
OHTA Takayuki
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
,
KAGEYAMA Tetsunori
(Wakayama Univ., Wakayama, JPN)
,
ITO Masafumi
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
,
NISHIZAWA Norihiko
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
HORI Masaru
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
52
号:
2
ページ:
026602.1-026602.6
発行年:
2013年02月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)