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文献
J-GLOBAL ID:201302274587971256   整理番号:13A0539605

超連続光を採用した光ファイバー型低コヒーレンス干渉計を用いたSi基板の温度測定

Temperature Measurement of Si Substrate Using Optical-Fiber-Type Low-Coherence Interferometry Employing Supercontinuum Light
著者 (6件):
HIRAOKA Takehiro
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
OHTA Takayuki
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
KAGEYAMA Tetsunori
(Wakayama Univ., Wakayama, JPN)
ITO Masafumi
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
NISHIZAWA Norihiko
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
HORI Masaru
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 52  号:ページ: 026602.1-026602.6  発行年: 2013年02月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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