文献
J-GLOBAL ID:201302275203401179
整理番号:13A1282972
エピタキシャル蒸着と湿式化学腐食液を用いた酸化皮膜のリソグラフィ構造形成の反復処理によって製作された可変抵抗器
Variable resistor made by repeated steps of epitaxial deposition and lithographic structuring of oxide layers by using wet chemical etchants
著者 (5件):
WEBER Dieter
(Forschungszentrum Juelich, Peter Gruenberg Inst. PGI-5, 52425 Juelich, DEU)
,
VOEFELY Roza
(Forschungszentrum Juelich, Peter Gruenberg Inst. PGI-5, 52425 Juelich, DEU)
,
CHEN Yuehua
(Forschungszentrum Juelich, Peter Gruenberg Inst. PGI-5, 52425 Juelich, DEU)
,
MOURZINA Yulia
(Forschungszentrum Juelich, Peter Gruenberg Inst. PGI-8/Institute of Complex Systems ICS-8, 52425 Juelich, DEU)
,
POPPE Ulrich
(Forschungszentrum Juelich, Peter Gruenberg Inst. PGI-5, 52425 Juelich, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
533
ページ:
43-47
発行年:
2013年04月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)