文献
J-GLOBAL ID:201302277178885363
整理番号:13A1562499
電気化学手法を用いたMEMSベース地震センサの特性
The Characteristics of MEMS Based Seismic Sensors Using the Electrochemical Approach
著者 (5件):
FAN Yunjie
(Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
WANG Junbo
(Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
DENG Tao
(Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
CHEN Deyong
(Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
HE Wentao
(Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
562/565 Pt.2
ページ:
486-489
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)