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文献
J-GLOBAL ID:201302277735590231   整理番号:13A0896654

流動層リアクター中の粒状ポリシリコン製造に於けるSiCl4の再循環

Recycling of SiCl4 in the manufacture of granular polysilicon in a fluidized bed reactor
著者 (4件):
WANG Chenjing
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
WANG Tiefeng
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
LI Peilong
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
WANG Zhanwen
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)

資料名:
Chemical Engineering Journal  (Chemical Engineering Journal)

巻: 220  ページ: 81-88  発行年: 2013年03月15日 
JST資料番号: D0723A  ISSN: 1385-8947  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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