文献
J-GLOBAL ID:201302277735590231
整理番号:13A0896654
流動層リアクター中の粒状ポリシリコン製造に於けるSiCl4の再循環
Recycling of SiCl4 in the manufacture of granular polysilicon in a fluidized bed reactor
著者 (4件):
WANG Chenjing
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
,
WANG Tiefeng
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
,
LI Peilong
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
,
WANG Zhanwen
(Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
資料名:
Chemical Engineering Journal
(Chemical Engineering Journal)
巻:
220
ページ:
81-88
発行年:
2013年03月15日
JST資料番号:
D0723A
ISSN:
1385-8947
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)