文献
J-GLOBAL ID:201302278697110669
整理番号:13A0408345
ナノポーラスシェルによるナノポーラスシリコンナノピラーとシリコンナノピラーの秩序配列
Ordered arrays of nanoporous silicon nanopillars and silicon nanopillars with nanoporous shells
著者 (5件):
WANG Dong
(Ilmenau Univ. of Technol., Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and ...)
,
JI Ran
(SUESS MicroTec Lithography GmbH, Schleissheimer Str. 90, 85748, Garching, DEU)
,
DU Song
(Ilmenau Univ. of Technol., Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and ...)
,
ALBRECHT Arne
(Ilmenau Univ. of Technol., Center for Micro- and Nanotechnologies MacroNano, Gustav-Kirchhoff-Str. 7, 98693, Ilmenau ...)
,
SCHAAF Peter
(Ilmenau Univ. of Technol., Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and ...)
資料名:
Nanoscale Research Letters (Web)
(Nanoscale Research Letters (Web))
巻:
8
号:
1
ページ:
1-9
発行年:
2013年12月
JST資料番号:
U7001A
ISSN:
1931-7573
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)