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文献
J-GLOBAL ID：201302278712977003
整理番号：13A0780159
厚さを調節したAl誘導結晶化による絶縁体上の大きな粒状Si膜の配向制御
Orientation Control of Large-Grained Si Films on Insulators by Thickness-Modulated Al-Induced Crystallization
NUMATA Ryohei
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
TOKO Kaoru
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
SAITOH Noriyuki
(Electron Microscope Facility, Tsukuba, JPN)
,
YOSHIZAWA Noriko
(Electron Microscope Facility, Tsukuba, JPN)
,
USAMI Noritaka
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
SUEMASU Takashi
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
資料名：
Crystal Growth & Design
(Crystal Growth & Design)
巻： 13 号： 4 ページ： 1767-1770 発行年： 2013年04月
JST資料番号： W1323A ISSN： 1528-7483 CODEN： CGDEFU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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