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文献
J-GLOBAL ID:201302278712977003   整理番号:13A0780159

厚さを調節したAl誘導結晶化による絶縁体上の大きな粒状Si膜の配向制御

Orientation Control of Large-Grained Si Films on Insulators by Thickness-Modulated Al-Induced Crystallization
著者 (6件):
NUMATA Ryohei
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
TOKO Kaoru
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
SAITOH Noriyuki
(Electron Microscope Facility, Tsukuba, JPN)
YOSHIZAWA Noriko
(Electron Microscope Facility, Tsukuba, JPN)
USAMI Noritaka
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
SUEMASU Takashi
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)

資料名:
Crystal Growth & Design  (Crystal Growth & Design)

巻: 13  号:ページ: 1767-1770  発行年: 2013年04月 
JST資料番号: W1323A  ISSN: 1528-7483  CODEN: CGDEFU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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