文献
J-GLOBAL ID:201302278904664513
整理番号:13A1087477
パリレンCをコーティングした表面を用いたパターニングした金属膜の転写印刷
Transfer printing of patterned metal films using parylene C coated surfaces
著者 (4件):
BAVIER J.
(Univ. of Maryland, Dep. of Materials Sci. & Engineering, Coll. Park, MD 20742, USA)
,
BAVIER J.
(Lab. for Physical Sciences, Coll. Park, MD 20740, USA)
,
CUMINGS J.
(Univ. of Maryland, Dep. of Materials Sci. & Engineering, Coll. Park, MD 20742, USA)
,
HINES D.r.
(Lab. for Physical Sciences, Coll. Park, MD 20740, USA)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
104
ページ:
18-21
発行年:
2013年04月
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)