文献
J-GLOBAL ID:201302279156248273
整理番号:13A0146790
プラズマCVDで作製した環境セル装備透過型電子顕微鏡用非晶質SiCNダイアフラム
Amorphous SiCN diaphragm for transmission electron microscope with environmental-cell fabricated by plasma-enhanced chemical vapor deposition
著者 (5件):
MATSUTANI Takaomi
(Kinki Univ., 3-4-1 Kowakae, Higashi-osaka, Osaka 577-8502, JPN)
,
YAMASAKI Kayo
(Kinki Univ., 3-4-1 Kowakae, Higashi-osaka, Osaka 577-8502, JPN)
,
TSUTSUI Hidenori
(Kinki Univ., 3-4-1 Kowakae, Higashi-osaka, Osaka 577-8502, JPN)
,
MIURA Takuya
(Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
KAWASAKI Tadahiro
(Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
88
ページ:
83-87
発行年:
2013年02月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)