前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201302279568959816
整理番号：13A1773429
Cu薄膜堆積過程における大気圧プラズマジェット特性
Atmospheric Pressure Plasma Jet Properties in Cu Thin Film Deposition Process
ZHAO Peng
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
ZHAO Peng
(Inst. of Plasma Physics, Chinese Acad. of Sci., Hefei, CHN)
,
ZHENG Wei
(Yazaki Corp., Shizuoka, JPN)
,
MENG Yuedong
(Inst. of Plasma Physics, Chinese Acad. of Sci., Hefei, CHN)
,
NAGATSU Masaaki
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名：
Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM)
(Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM))
ページ： ROMBUNNO.17P-PM4-25 発行年： 2013年
JST資料番号： M20130006 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。