文献
J-GLOBAL ID:201302279693731525
整理番号:13A1758418
NSR-S622D液浸スキャナのmix-and-matchオーバレイ性能
Mix-and-match overlay performance of the NSR-S622D immersion scanner
著者 (7件):
MAKINO Katsushi
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
KIKUCHI Takahisa
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
SASAMOTO Satoru
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
HONGKI Park
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
MORI Akiko
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
TAKAHASHI Nobuyuki
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
WAKAMOTO Shinji
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8683
ページ:
86830Q.1-86830Q.12
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)