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文献
J-GLOBAL ID：201302280824800909
整理番号：13A0729503
超精密ステージにおけるオイラーの運動方程式の非線形性と軸間干渉を補償した姿勢制御の一提案
Proposal of Attitude Control for High-Precision Stage by Compensating Nonlinearity and Coupling of Euler’s Equation
大西亘
(東大)
,
藤本博志
(東大)
,
堀洋一
(東大)
,
坂田晃一
(ニコン)
,
鈴木一弘
(ニコン)
,
佐伯和明
(ニコン)
資料名：
電気学会産業計測制御研究会資料
(Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
巻： IIC-13 号： 89-90.92-101.103-110 ページ： 67-72 発行年： 2013年03月07日
JST資料番号： X0577A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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